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南大光電浸沒式光刻機搬入儀式舉行
梁群沈恩東出席
http://www.blnews.com.cn  北侖恒越娛樂招商網  2020年04月16日 19:53
2020年04月16日 19:53

  本網訊(記者 賈騏帆 通訊員 王俊)4月16日上午,寧波南大光電材料有限公司浸沒式光刻機搬入儀式舉行,標識表記標幟著中國芯片制造關鍵材料產業邁出重要一步。市委常委、區委書記梁群出席儀式。區領導沈恩東、朱曉雄、潘群威等出席。

  據了解,寧波南大光電材料有限公司是江蘇南大光電材料股份有限公司于2018年1月在北侖區芯港小鎮成立的光刻膠配套材料子公司。項目總投資15.6億元,年產25噸ArF光刻膠。

  光刻膠是集成電路制造的關鍵電子材料之一。我國IC行業使用的光刻膠幾乎完全依賴進口,這種局面亟待改變。沒有光刻機,開發和產業化光刻膠很難實現。在國家“02-專項”和北侖區政府的支持下,南大光電率先購買了193納米浸沒式光刻機,用于光刻膠產品開發。通過這臺進口光刻機,南大光電可以對公司生產的光刻膠產品進行質量驗證,這樣南大光電的光刻膠產品才可以進軍國際市場,主動參與國際高端光刻膠市場的競爭。

  這臺193納米光刻機進廠后,南大光電后期也將建成國內第一個專業用于ArF光刻膠產品開發和生產的檢測評估平臺,同時建立配套完整的國產光刻膠產業鏈。

  光刻機被譽為“超精密制造技術皇冠上的明珠”,是集成電路制造最核心的設備。寧波南大光電材料有限公司作為重點領域的骨干企業,為落實國家創新驅動發展戰略,解決“卡脖子”問題作出了重要貢獻。如今,這臺浸沒式光刻機將為國產光刻膠性能保駕護航,有力鞭策集成電路產業所需的高端光刻膠產品開發與產業化應用。

  沈恩東強調,光刻膠是中國芯片國產化的一個關鍵環節。希望南大光電堅守初心,實業強國,深耕國產光刻膠研發,加速光刻膠國產化替代,努力打造成為一個國產光刻膠產業基地。南大光電擁有許多有夢想與激情的青年技術人員。青年人的成長,是集成電路產業未來發展的基石,希望大家不畏艱辛、勇于探索,努力鉆研專業知識,努力趕超世界強國,為祖國美好的明天貢獻本身的青春和力量。

編纂:樂佳瑋 稿源:
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